- Panoramica
- Descrizione del prodotto
- Parametri del prodotto
- Profilo aziendale
Informazioni di Base.
vita Mould
> 1.000.000 Shots
Pacchetto di Trasporto
Minder-Hightech
Marchio
minder-hightech
Origine
China
Capacità di Produzione
100
Descrizione del Prodotto
Microonde plasma Cleaner
SPV-100MWR è un sistema di pulizia al plasma a microonde a bassa tensione per semiconduttori. Applicando alla finestra sulla parete della cavità del vuoto microonde con frequenza di 2,45 GHz, si genera un gran numero di plasma continuo e il chip viene pulito entrando nella cavità.
Ospite plasma sottovuoto | ||
Dimensioni dell'attrezzatura | 1230X1800X1100 mm (larghezza x altezza x profondità) | |
Peso | 450 kg | |
Richiesta di potenza | AC380 V, 50 Hz, 5 fili, 30 A. | |
Specifiche del generatore di plasma | ||
Alimentatore a microonde | Potenza | 0~1250 W. |
Frequenza | 2,45 GHz | |
Sistema a vuoto | ||
Materiale | Lega di alluminio (camera in acciaio inox personalizzabile) | |
Spessore | 25 mm | |
Dimensioni interne della cavità | 480 mmX470 mmX480 mm | |
Aree di lavoro | 6 sezioni di magazzino | |
RACC | Slotted Magazine offre un effetto di elaborazione migliorato ECR | |
Capacità plasma | ||
Capacità di elaborazione | Passo 35 um 40μm Sbattuta Dimensioni massime stampo 15 x 15 mm |